Zeiss feiert 50 Jahre Halbleiter-Know-how

Technologie Unternehmen sieht EUV-Lithographie als Technologiesprung in der Geschichte der Chip-Fertigung,
  • Würdigten das Jubiläum (von links): Zeiss-Vorstandsvorsitzender Prof. Dr. Michael Kaschke, Zeiss-Aufsichtsratschef Prof. Dr. Dieter Kurz, Martin van den Brink (ASML), Zeiss-Vorstand Dr. Karl Lamprecht und Dr. Herbert Zeisel (Ministerialdirigent im Bundesforschungsministerium). Foto: Zeiss

Oberkochen. Die Carl Zeiss AG entwickelt seit 50 Jahren Technologien zur Halbleiterfertigung. Aus diesem Anlass sind Partner und Beteiligte des Zeiss-Unternehmensbereichs Semiconductor Manufacturing Technology sowie Vertreter der beiden Bundesministerien für Forschung und für Wirtschaft bei Zeiss zusammengekommen.

Im Jahr 1968 lieferte Zeiss erstmals ein Objektiv für einen Schaltkreisbelichter. Der Vorgänger der heutigen Waferscanner zur Chipherstellung bildete damals Strukturen von mehr als zehn Mikrometern ab. Heute ermöglichen die Lithographie-Optiken mit extrem ultraviolettem Licht (EUV) der Zeiss-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) bereits Strukturen von weniger als 20 Nanometern. Eingesetzt in den Waferscannern des strategischen Partners ASML aus den Niederlanden ermöglichen sie die Produktion immer leistungsfähigerer, kleinerer, günstigerer und energieeffizienterer Chips. Diese schaffen die Voraussetzung für Innovationen wie das Internet der Dinge, Industrie 4.0 oder Elektromobilität und autonomes Fahren.

Die 50-jährige Entwicklung der Technologien zur Halbleiterfertigung von Zeiss sowie die seit 1984 von ASML entwickelten Lithographie-Systeme gipfelten 2018 in der Serienreife der EUV-Lithographie. Dr. Martin van den Brink, President und CTO von ASML, verdeutlichte den Beitrag der EUV-Lithographie zur Weiterentwicklung der Mikroelektronikindustrie: „Der Einführung von EUV in Chipfabriken auf der ganzen Welt gingen große wissenschaftliche Bemühungen und technische Innovationen voraus. Die erste Generation von Chips, die auf Grundlage der EUV-Lithographie hergestellt wird, werde Anfang nächsten Jahres auf den Markt kommen.

© Wirtschaft Regional 05.10.2018 14:54
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